塑造高性能运动控制的科创力量





塑造高性能运动控制的科创力量





大行程晶圆搬运机器人
2026
磁预载气浮轴承及具有该轴承的直线平台
2026
12寸晶圆形貌测量用工件台
2026
12寸晶圆形貌测量系统
2026
一种自动化晶圆检测设备
2026
一种直线电机的磁铁安装设备
2026
一种用于晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台
2026
一种用于晶圆传输机械手的末端晶圆翻转机构
2026
一种用于光栅尺刻写的大尺寸激光直写运动台
2026
一种用于大尺寸晶圆厚度检测平台
2026
一种用于大尺寸晶圆厚度及弯曲度检测的运动平台
2026
一种用于OLED检测设备的运动平台
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